天天综合91_一区二区三区网站_国语自产在线不卡_九色porny视频在线观看_国产精品视频二_国产精品中文字幕亚洲欧美_日韩av自拍偷拍_激情综合自拍_九九九九九九九九

當前位置：主頁 > 產品資料 >

橡膠空氣彈簧隔振設計及性能分析


　　壓印光刻機是一種精密儀器,外界環境激勵對壓印光刻機的影響很大。橡膠空氣彈簧是一種氣囊減振器,用橡膠空氣彈簧隔離外界環境對壓印光刻機的干擾,能保護壓印光刻機免受低頻激勵力的激勵,文中闡述壓印光刻機低頻橡膠空氣彈簧單自由度隔振系統的隔振原理,確定橡膠空氣彈簧的剛度及隔振系統的固有頻率,隔振系統的固有頻率及隔振效率的理論結果與實際隔振系統的試驗結果相吻合,表明壓印光刻機的低頻隔振設計是合理可行的。